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使用真空泵时必须注意下列几点：

在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。

蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机的溶剂的蒸气。

如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。

减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，基富节能真空泵，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。

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半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。

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如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力，还会引起应力释放，产生裂纹。由于泵汽蚀时气泡在高压区连续发生突然，以及伴随着强烈水击产生的噪声和振动，可以听到像爆豆似的劈劈啪啪的声音。如果上述气泡在金属表面上，金属表面将受到连续强烈的水击出现麻点，金属晶粒松动并剥落而成蜂窝状甚至穿孔。汽蚀破坏除机械作用外，还伴随着电解、化学腐蚀等多种复杂的作用。实际破坏效果表明，泵过流部件汽蚀破坏的部位，正是气泡消失的地方。真空泵需要用液体作为工作介质。

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